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SiC MOSFET 工艺电性本体 v1.0.0

面向车规主驱 SiC MOSFET 工艺收敛与电性归因的领域本体与知识图谱:以 1200V 平面栅平台为对象,构建制造对象、工艺执行、观测、中间变量、电性、缺陷、知识七大类体系(63 类 / 35 对象属性 / 24 数据属性),显式编码「参数→中间变量→电性」物理因果链与「信号→诊断→根因→行动」证据链。含 2 条 SWRL 规则(D1 沟道迁移率三条件交叉验证、M6 批次效应护栏)、12 组 SHACL 形状(规格窗、Vth 2.0V 安全红线、机台能力、热预算总账、片间名额)与 7 条诊断规则注册表,支撑投片前硬约束门禁、轮次归因证据链与经验四元组资产化。

飞速官方更新于 2026-11-06CC BY 4.0
类数量63
属性数量59
规则数量2
实例数据47
质量评分90%
关系图谱owl:Thing / 全部类
63 个类 · 135 条关系
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图例核心概念业务概念规则资源实体